ATV真空回流炉的基本结构

日期：2024-05-14 01:27

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摘要：

　　ATV真空回流炉包括以下几个结构：气路系统、冷却系统、加热系统，真空系统、测量系统和**系统：

气路系统

　　N2有三路：一路通到工艺腔体；一路作为气冷通入冷却管（和水冷一个管道）；一路通到真空泵gas ballast，作为提高真空泵压缩比的功能。 H2有一路，通到腔体内。H2/N2一路，通道腔体内。

冷却系统

　　分为内循环和外循环内循环：设备内部有个水箱，内装有DI water，通过水泵将水箱里面水进行循环，用来冷却加热板、法兰、plasma。外循环：客户提供外部冷却水用来冷却水箱。

加热系统

　　ATV真空回流炉包括主加热和边缘加热。

　　主加热也就是整个加热板。占加热的95%。

　　边缘加热是在热板的四周追加边缘加热丝，为了更好的提高热板的均匀性，增大工艺有效面积。