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ATV真空回流炉的基本组成
日期：2024-05-10 15:19
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摘要：
ATV真空回流炉包括以下几个结构：气路系统、冷却系统、加热系统，真空系统、测量系统和**系统：
气路系统
N2有三路：一路通到工艺腔体；一路作为气冷通入冷却管（和水冷一个管道）；一路通到真空泵gas ballast，作为提高真空泵压缩比的功能。 H2有一路，通到腔体内。H2/N2一路，通道腔体内。
冷却系统
分为内循环和外循环 内循环：设备内部有个水箱，内装有DI water，通过水泵将水箱里面水进行循环，用来冷却加热板、法兰、plasma。外循环：客户提供外部冷却水用来冷却水箱。
加热系统
ATV真空回流炉包括主加热和边缘加热。
主加热也就是整个加热板。占加热的95%。
边缘加热是在热板的四周追加边缘加热丝，为了更好的提高热板的均匀性，增大工艺有效面积。
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