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ATV真空回流炉系统介绍
日期：2024-05-10 15:18
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摘要：
ATV真空回流炉系统介绍
冷却系统
分为(ATV真空回流炉)内循环和外循环 内循环：设备内部有个水箱，内装有DI water，通过水泵将水箱里面水进行循环，用来冷却加热板、法兰、plasma。外循环：客户提供外部冷却水用来冷却水箱。
加热系统
包括主加热和边缘加热。
主加热也就是整个加热板。占加热的95%。
边缘加热是在热板的四周追加边缘加热丝，为了更好的提高热板的均匀性，增大工艺有效面积。
真空系统
真空泵(ATV真空回流炉)抽真空流程：将腔体内部气体——主阀——真空泵——管道（通过加热丝）——排风里面。 真空部分有个过压阀，腔体压力过大时会自动打开泄压。
测量系统
除了控制加热的TC之外，设备腔体内部还有6组测量TC，用于实时监控产品温度。
尊敬的客户：