德国ATV 快速热处理炉
德国ATV PEO系列多功能快速热处理系统，主要用于晶圆的扩散、氧化，以及CVD,PVD,LPCVD,MOCVD，合金化，退火，固化/烘烤等工艺，*高处理温度1100℃，可满足研发、批量生产的需求。
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德国ATV 快速热处理炉

发布时间 : 2025-07-09 18:25

概述
PEO604是一款既节能又节省占地空间的快速处理炉，它也是一款采用铬铝钴耐热钢线加热的热壁炉。PEO6xx系列是用于研发、工艺独特而复杂的产品开发、中低产量的生产。
应用范围
LPCVD, CVD, 晶体外延附生, 多晶硅, 氮化硅, LTO, TEOS,
固体/液体/气体前体扩散, low k, HSQ, HMDS,
干法/湿法氧化, 高温氧化, VECSEL,
MOCVD, Trans LC, 硅纳米线, 植入后退火,
纳米碳管, 石墨烯, 太阳能, batch ALD,
聚酰亚胺/BCB 固化, 晶圆焊球回流, 合金化处理, thick
film paste firing, LTCC 烧结, annealing under inert
大气/氢气/ 高真空, 碲/硒/汞 PVD
产品特性
• 在室温下无能源及气体损耗 – ramp up –
processing – 降温控制
• *高温度：1100°C, 极限真空 ~ 7 x 10-7 mbar
• *大可支持100片晶圆

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