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超声波扫描显微镜的工作模式有哪些
日期：2025-05-01 20:26
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摘要：
超声波扫描显微镜的工作模式，主要为C-Scan模式，所以称为C-SAM，
声学扫描原理
超声波遇到与周围材质不同的物质时被反射、散射、吸收、阻挡等，返回的声波(回声)用于内部结构的成像。由于声波是物质波（matter wave），声学扫描能够反映X射线成像术无法探测到的封装裂痕。
C-SAM原理
C-SAM是利用频率高于20KHz的超声波脉冲探测样品内部空隙等缺陷的仪器，主要用于观察组件内部的芯片粘接失效、分层、裂纹、夹杂物、空洞等。是一项非破坏性的检测组件的完整性，内部结构和材料的内部情况的测试，作为无损检测分析中的一种，它可以实现在不破坏物料电气能和保持结构完整性的前提下对物料进行检测。
脉冲回波
脉冲回波方法是利用反射波成像，可以具体的聚焦到某一层，从而可以判断缺陷深度，但要注意分清元器件正反面。脉冲回波方法分为A-Scan、C-Scan、B-Scan。
扫描模式：
传输时间测量模式 A-Scan
表面及横向截面扫描模式 C-Scan
纵向截面成像模式 B-Scan